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一种石英衬底/β-Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>外延薄膜偏振敏感光电突触及其制备方法
申请人:	浙江富乐德石英科技有限公司;浙江理工大学;
申请人代码:	浙江富乐德石英科技有限公司;浙江理工大学;
申请号:	CN202410721839.8
公开号:	CN118738167A

专利介绍

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